當時因科磊對電子束檢測技術投入態度消極，招允佳毅然決定與友人走上創業一途，正好主要代理半導體設備的漢民科技董事長黃民奇有意自己做設備，因而催生了漢微科。
只是漢微科創立後並不是一路順遂，成立後整整虧了12年，不過，在招允佳與黃民奇的堅持下，漢微科總算熬出頭，在電子束檢測設備領域囊括全球8成以上市占率。
招允佳畢業於國立交通大學電子系，為美國威斯康辛大學電機與電腦工程博士，1991年至1998年於美商科磊（KLA）擔任資深研發工程經理，負責研發前瞻性電子束檢測技術。
熬了12個虧損年頭的漢微 科，因擁有多項電子束檢測設備關鍵專利，備受市場高度肯定，2012年5月21日掛牌上櫃後，僅在10個月內即登上台股股后，並曾一度超越大立光，搶下台股股王寶座。
「創新創業是必要，不過，埋頭苦幹把想法實現更加重要」 ，去年7月在工研院院士授證典禮上，招允佳道出他創業的心路歷程。
漢微科1998年創立後整整賠了12年，不過，在創辦人暨執行長招允佳的堅持，與大股東漢民科技董事長黃民奇不離不棄下，造就了漢微科傳奇。
如今，隨著半導體製程技術不斷推進，10奈米以下及3D立體結構製程的製程技術及良率控制難度提高，漢微科多年專注高解析度及電壓反差成像電子束產品及應用開發，位 居電子束檢測設備龍頭，讓國際知名的設備大廠艾司摩爾（ASML）看上其優勢，宣布跨海來台收購漢微科。
漢微科從創立到今天被國際大廠捧上千億元巨資收購，千里馬招允佳與伯樂黃民奇可說是寫下漢微科傳奇的關鍵人物。
>山葉機車分期
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